| 发明名称 | 图像传感器的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种图像传感器的制造方法。该方法包括以下步骤：在包括有源区和焊盘区的半导体衬底的该焊盘区上形成金属焊盘；通过在包括该金属焊盘的半导体衬底的整个表面上形成钝化层，并选择性去除该钝化层，形成金属焊盘开口以暴露该金属焊盘；通过利用终点检测方法进行灰化处理来去除用于形成滤色镜阵列的感光层，在该有源区的钝化层上形成该滤色镜阵列；以及在该滤色镜阵列上形成微透镜。本发明提供的图像传感器的制造方法能够防止金属焊盘污染，还能够防止多余光线入射到光电二极管。 | ||
| 申请公布号 | CN1992217A | 申请公布日期 | 2007.07.04 |
| 申请号 | CN200610170179.0 | 申请日期 | 2006.12.25 |
| 申请人 | 东部电子股份有限公司 | 发明人 | 郑星熙 |
| 分类号 | H01L21/822(2006.01);H01L27/146(2006.01) | 主分类号 | H01L21/822(2006.01) |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郑小军 |
| 主权项 | 1.一种图像传感器的制造方法，包括以下步骤：在包括有源区和焊盘区的半导体衬底的该焊盘区上形成金属焊盘；通过在包括该金属焊盘的半导体衬底的整个表面上形成钝化层，并选择性去除该钝化层，形成金属焊盘开口以暴露该金属焊盘；通过利用终点检测方法进行灰化处理来去除用于形成滤色镜阵列的感光层，在该有源区的钝化层上形成该滤色镜阵列；以及在该滤色镜阵列上形成微透镜。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||