零阿贝误差测量系统及其方法

摘要

一种零阿贝误差测量系统，其包括移动平台、检测装置以及第一与第二三维光学尺。移动平台是用以载置待测量样本。检测装置用以检测待测量样本，并测量待测量样本的待测点相对于移动平台的垂直高度。第一与第二三维光学尺分别设置在移动平台上且隔着待测量样本彼此相对，其中第一与第二三维光学尺可垂直该移动平台进行高度微调，使第一与第二三维光学尺相对于移动平台的垂直高度与待测点的垂直高度相等，以进行待测量样本的测量。

主权项

1.一种零阿贝误差测量系统，其特征是包括：移动平台，用以载置待测量样本；检测装置，用以检测该待测量样本，并测量该待测量样本的待测点相对于该移动平台的垂直高度；第一与第二三维光学尺，分别设置在该移动平台上且隔着该待测量样本彼此相对，其中该第一与该第二三维光学尺可垂直该移动平台进行高度微调，使该第一与该第二三维光学尺相对于该移动平台的垂直高度与该待测点的垂直高度相等，以进行该待测量样本的测量。