| 发明名称 | 适合于酸生成剂的盐和含有该盐的化学放大型抗蚀剂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供式(I)的盐，其中X表示亚烷基或取代的亚烷基；Q<SUP>1</SUP>和Q<SUP>2</SUP>各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A<SUP>+</SUP>表示有机抗衡离子；并且n表示0或1。本发明还提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含所述式(I)的盐和树脂，所述树脂包含具有酸－不稳定基团的结构单元，并且所述树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液。 | ||
| 申请公布号 | CN1991585A | 申请公布日期 | 2007.07.04 |
| 申请号 | CN200610172455.7 | 申请日期 | 2006.12.25 |
| 申请人 | 住友化学株式会社 | 发明人 | 山口训史;吉田勋;原田由香子 |
| 分类号 | G03F7/039(2006.01);G03F7/004(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F7/039(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 柳春琦 |
| 主权项 | 1.一种式(I)的盐：<img file="A2006101724550002C1.GIF" wi="784" he="210" />其中X表示亚烷基或取代的亚烷基，其中除了连接到相邻的-COO-的-CH<sub>2</sub>-之外的-CH<sub>2</sub>-被-S-或-O-取代；Y表示含有至少一个芳族环并且含有5至30个碳原子的烃环基团，其中烃环上的一个或多个-CH<sub>2</sub>-任选被-O-或-CO-取代，并且其中烃环上的一个或多个氢原子任选被含有1至6个碳原子的烷基、含有1至6个碳原子的烷氧基、含有1至4个碳原子的全氟烷基、含有1至6个碳原子的羟基烷基、羟基或氰基取代；Q<sup>1</sup>和Q<sup>2</sup>各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A<sup>+</sup>表示有机抗衡离子；并且n为0或1。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||