动态随机存取存储器

摘要

一种动态随机存取存储器，包括衬底、沟渠式电容器、通过栅极结构、晶体管以及接触窗。衬底具有一个沟渠，且沟渠式电容器配置于衬底的沟渠中。通过栅极结构配置于沟渠式电容器上，且晶体管配置于通过栅极结构的一侧的衬底上。接触窗配置于通过栅极结构的另一侧的衬底上，且此接触窗连接至沟渠式电容器。由于配置在栅极结构的另一侧，因此接触窗不会因对准不良而连接至晶体管的源极与漏极区。

主权项

权利要求书1.一种动态随机存取存储器，其特征在于，包括：一衬底，具有一沟渠；一沟渠式电容器，配置于该衬底的该沟渠中；一通过栅极结构，配置于该沟渠式电容器上；一晶体管，配置于该通过栅极结构的一侧的该衬底上；以及一接触窗，配置于该通过栅极结构的另一侧的该衬底上，且该接触窗连接至该沟渠式电容器。