发明名称 METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING THE THICKNESS OF A SEMICONDUCTOR MEMBRANE IN A MICROSTRUCTURE
摘要
申请公布号 EP1802939(A1) 申请公布日期 2007.07.04
申请号 EP20050810074 申请日期 2005.10.20
申请人 X-FAB SEMICONDUCTOR FOUNDRIES AG 发明人 HERING, SIEGFRIED;HOELZER, GISBERT
分类号 G01B21/08;G01N25/18 主分类号 G01B21/08
代理机构 代理人
主权项
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