发明名称 METHOD FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100734077(B1) 申请公布日期 2007.07.02
申请号 KR20010081677 申请日期 2001.12.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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