发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100734690(B1) 申请公布日期 2007.07.02
申请号 KR20050070549 申请日期 2005.08.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/304 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址