具有一温度分布均匀之加热/冷却晶圆支撑件的电容式耦合电浆反应器

摘要

用于处理工作物件的电浆反应器包括一反应室、一位于反应室中之静电吸座，用以支撑工作物件、一RF电浆偏压功率产生器，用以施加RF功率至静电吸座、以及一相变化热传(PCHT)回路，包括一热交换器，位于静电吸座内且具有入口与出口。PCHT回路可在二种模式下操作：冷却模式(在此热交换器当作蒸发器)、和加热模式(在此热交换器当作冷凝器)。PCHT回路更包括一压缩机(用以透过回路抽吸相变化热传媒介)，不直接耦接至热交换器的出口、一冷凝器(冷却模式)，耦接压缩机的出口、以及一扩张阀，耦接于冷凝器的出口与热交换器的入口之间。较佳地，热交换器内的PCHT媒介为气相与液相的混合物。如此，静电吸座与热交换器内之PCHT媒介间的热传进行为一恒温的过程。此将改善整个静电吸座之温度分布的均匀度。