用于回收烷类浸入液之装置及使用方法

摘要

本发明提供用于回收低吸光率液体烷类之清洁封闭环路流体输送系统及方法。该等烷类可有利地用于藉由使用紫外线波长之光微影蚀刻方法之电子或积体光学电路元件之制造中作为浸入液。