可挠性复层压电材结构及其制作方法

摘要

本案提供一种可挠性复层压电材结构及其制作方法，该可挠性复层压电材结构包括一基板、一底电极层、一压电膜层以及一上电极层，该底电极层位于该基板上、该压电膜层位于该基板及该底电极层上，该压电膜层具有连续之压电相，该上电极层位于该压电膜层上。