平面载台装置

摘要

[课题]提供一种平面载台装置，即使不使用重的定盘，也可使平面载台表面保持高精度的平面，装置重量轻，且制作成本也便宜。[解决手段]由支撑构件10在3处以上支撑供载置工件用的平面板1。且，设置将此平面板1朝XY轴方向移动用的驱动机构。上述支撑构件10，是具备与平面板1相面对配置的空气轴承，藉由该支撑构件10使上述平面板1浮起，并且由任意的推力使平面板1朝对于该平面板1的平面相互垂直的方向变位。而且，将平面板的变位状态，保持于被选择的变位状态，使上述平面板的工件是载置面为水平并保持平面。