结合电化学加工与电解抛光之复合式微加工装置及方法

摘要

本发明系为一种结合电化学加工与电解抛光之复合式微加工装置及方法，其方法包括：一．准备步骤、二．第一阶段加工步骤、三．第二阶段加工步骤，以及四．完成步骤，其装置部分包括一可提供第一工作液体之电化学加工溶液容纳部；一可提供第二工作液体之电解抛光溶液容纳部；一待加工金属系连结正电；一加工模部系连结负电；藉此，将该待加工金属与该加工模部先浸在该第一工作液体中进行电化学加工，再浸入该第二工作液体中进行电解抛光加工；如此达到加工速度快、可改善表面粗糙度，以及适合对高硬度金属工件进行加工等优点。