| 摘要 |
本发明的课题是提供一种以比较少的工时将大型工件的表面予以平坦加工的平面加工装置，同时支撑使加工后工件的表面形成平面的方法。其解决手段是将工件W载放到3处预定高度固定的固定式支撑体1的真空吸附部上予以保持固定。接着对位移式支撑体2的汽缸供给空气使其上升接触到工件W内面的时刻，固定位移式支撑体2的高度方向的位置，保持固定工件W。在此状态下，移动加工机头10，磨削工件W的表面加工成平行。使用如上述加工后的工件例如作为曝光装置的工件载台时，配置支撑体使其形成和加工后的固定式支撑体1配置相同的位置关系，重现和加工时相同的支撑状态，设置使工件的表面呈平坦。 |
