| 摘要 |
[课题]藉由复数支撑体支撑遮罩等的平面板时，补偿因自重所产生的变形，可保持平面板为平面的状态下进行支撑。[解决手段]载台底基11上设置：高度不变的固定式的支撑体1、及高度可变的变位式的支撑体2合计4个以上。固定式的支撑体1是具有隔着旋转轴承安装在台座上的真空吸着部。变位式的支撑体2，是具有：使轴上下动的气压缸、及隔着旋转轴承安装在轴的先端之真空吸着部、及固定供规制轴的动作用的高度的手段。由固定式的支撑体1的真空吸着部从背面保持遮罩20并由3点支撑遮罩20，并且使变位式支撑体2的气压缸加上只抵消因遮罩20的自重所产生的推力并将遮罩20压起固定于该位置，由真空吸着部从背面保持遮罩20。 |
