用于转印制程之磁场辅助均匀施压装置

摘要

一种用于转印制程之磁场辅助均匀施压装置，包含：至少一模压单元、至少一调整单元及至少一驱动单元。该模压单元具有可相互对合的一第一模板与一第二模板，该第一模板是供一物料设置，该第二模板具有可压印该物料一浆料层的至少一模压面；该调整单元具有一均压板，及分别形成在该均压板与该模压单元且相互排斥的一第一磁区与一第二磁区磁性。该驱动单元是可驱动该均压板相对该模压单元位移，使该第一、第二模板受该第一、第二磁区的磁力影响，相互对合且调整对合时的平行度。