离子源及使用该离子源之模具抛光装置

摘要

本发明涉及一种离子源及使用该离子源之模具抛光装置。该模具抛光装置包括一离子源，该离子源用于发射进行抛光之离子束，该离子源包括一腔体及设置于该腔体中之一阴极灯丝、一阴极、一屏极、一加速极及一可调屏极，该阴极靠近该阴极灯丝设置，该屏极、加速极及可调屏极依次远离该阴极设置，该可调屏极包括一通孔，该通孔大小及形状可调，从而可利用该通孔调节射出之离子束截面大小及形状。利用本明之模具抛光装置，可获得中心线平均表面粗糙度处于0.2~1奈米之平滑表面。