摘要 |
本发明提供一种切换装置,用以选择性地切换一线性偏极化之输入雷射光束(110a)为第一输出雷射光束(130a)或第二输出雷射光束(160a)。该切换装置包含一主要光学切换元件,该主要光学切换元件具有一主要光学元件(EOM),用以选择性地旋转该输入雷射光束(110a)之偏极化方向;以及一下游之主要偏极化相依之反射器(R),其依据该输入雷射光束之偏极化方向来导引该输入雷射光束至射线之第一路程(120a)或至射线之第二路程(150a)。在射线之两个路程的各个路程(分别地,120a及150a)中,一进一步之光学切换元件系个别地配置着,其包含一次要光学元件(分别地,EOM1及EOM2),用以选择性地旋转个别雷射光束(分别地,120b及150b)之旋转方向;以及一次要偏极化相依之反射器(分别地,R1及R2),其依据雷射光束之偏极化方向来导引个别的雷射光束为输出雷射光束(分别地,130a及160a)。此外,本发明提供一种包含如上述之雷射光束切换装置的雷射机制装置。 |