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发明名称
断续式传送系统
摘要
本发明大体上包括一种用以在一整个生产设施内运送容器、特定言之系运送容器通过该生产设施之一工具区(tool bay)的运输系统。本发明大体上包含一用以将一容器从一区间传送器送往第一工具区的第一容器运输系统、一用以将一容器从该第一工具区移走的第二容器运输系统及一用以在该第一和第二容器运输系统与一装载埠之间移动容器的工具装载装置。本发明亦可包含一用以在该第二容器运输系统与该区间传送器之间运送一容器的合并回行传送器。
申请公布号
TW200725789
申请公布日期
2007.07.01
申请号
TW095135834
申请日期
2006.09.27
申请人
艾塞特工业公司
发明人
安东尼C 布诺拉;希欧多 罗杰斯
分类号
H01L21/677(2006.01)
主分类号
H01L21/677(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
美国
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