用于具有充气式密封之基板承载件的装置及方法

摘要

本发明提供用于基板承载之系统、方法及设备。本发明提供适用于使用真空源以瓦解基板承载之门之充气式密封之开门器。藉由瓦解充气式密封，可将该门从基板承载之主体释放，以使基板可移开及/或插入载体。可将第二真空源施加于此门以使其与开门器牢固固定。本发明并揭露其他多种态样。