用于在大气压力下产生电浆且供应该电浆之装置

摘要

本发明提供了一种用于在大气压力下产生一电浆且供应该电浆之装置，其包括：一其中引入一气体之外壳；一电浆产生单元，其包括一位于该外壳内之上部电极及一位于该上部电极之下的呈网状之下部电极。根据本发明之该下部网状电极更易于制造。该下部网状电极使得可能对通过电浆之开口之尺寸之调节，因此在基板上均匀地提供电浆。此外，不允许微粒及残留气体附着至该基板之表面或者附着至该装置之内部。