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发明名称
具有双临界电压控制构件之低临界电压半导体元件
摘要
本发明提供一种半导体结构,特别是pFET,其包含介电常数大于二氧化矽且锗或矽含量大于50%之介电材料,以及至少一其他构件以藉由材料堆叠工程来调整临界/平带电压。本发明预期到之该其他构件包含,例如,在该介电材料上运用一绝缘中间层以固定电荷及/或藉由形成一经设计的通道区域。本发明也有关于一种制造此CMOS结构的方法。
申请公布号
TW200725888
申请公布日期
2007.07.01
申请号
TW095138621
申请日期
2006.10.19
申请人
万国商业机器公司
发明人
卡提尔艾德华A CARTIER, EDUARD A.;贾米森保罗C JAMISON, PAUL C.;卡培尔马修W COPEL, MATTHEW W.;詹米拉加罗;法兰克马丁M FRANK, MARTIN M.;林德贝瑞P LINDER, BARRY P.;古席夫艾及尼P GOUSEV, EVGENI P.;那拉亚南维杰
分类号
H01L29/78(2006.01)
主分类号
H01L29/78(2006.01)
代理机构
代理人
蔡坤财;李世章
主权项
地址
美国
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