面板蚀刻制程的方法及其装置第三案

摘要

一种面板蚀刻制程的方法及其装置，系将面板平置地固设于一蚀刻工作槽中，然后在槽中注入适量足以沉浸该面板的蚀刻液，并于蚀刻的进程中使该槽体以呈向一侧倾斜并作圆锥形旋转运动，以令槽中的蚀刻液顺沿槽体倾斜旋动而流动，使之对平置固设在槽内的面板产生往复旋动冲洗效果，以加速蚀刻效率，并藉由该流动使蚀刻液可均匀地接触面板表面，因而获致均匀的蚀刻效果。