发明名称 在卷装进出制程中校正网状物变形之方法及系统
摘要 本发明包括一用于在卷装进出制程中校正网状物变形之方法及系统。本发明包括能够在卷装进出制程中动态地调整网状物的平面度之可控制式机械组件。藉由在卷装进出制程中调整网状物,连续的图案化步骤之层对层对准的精确度大幅提高,藉以能够产生具有较低重叠电容及较高解析度之电子结构。本发明的第一态样系为一用于在卷装进出制程中校正网状物变形之方法。此方法包括启动一挠性网状物基材之卷装进出制程,侦测卷装进出制程中之挠性网状物基材中的变形及以侦测得的变形为基础来动态地对准挠性网状物基材。
申请公布号 TWI283340 申请公布日期 2007.07.01
申请号 TW093130589 申请日期 2004.10.08
申请人 惠普研发公司 发明人 杰克森 瓦伦
分类号 G05B19/402(2006.01) 主分类号 G05B19/402(2006.01)
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项 1.一种用于在卷装进出制程中校正网状物变形之 方法,其包含: 启动一包含一挠性网状物基材之卷装进出制程; 侦测该卷装进出制程中之该挠性网状物基材中的 变形; 以该侦测得的变形为基础来动态地对准该挠性网 状物基材。 2.如申请专利范围第1项之方法,其中该侦测挠性网 状物基材中的变形系包括: 利用该挠性网状物基材上之光学标记来侦测该变 形; 比较该侦测得的变形与一所需要的变形; 以该比较为基础产生一误差讯号;及 产生一用来动态地对准该挠性网状物基材之校正 讯号。 3.如申请专利范围第1项之方法,其中该动态地对准 该挠性网状物基材系包括: 利用可控制式机械组件以该侦测得的变形为基础 来对准该挠性网状物基材。 4.如申请专利范围第3项之方法,其中该等可控制式 机械组件包括可转向碟。 5.如申请专利范围第3项之方法,其中该等可控制式 机械组件包括球形轧缝。 6.如申请专利范围第5项之方法,其中各该等球形轧 缝系包括一弹簧负载式反向滚子。 7.一种卷装进出处理系统,其包含: 一网状物卷滚机构; 一挠性网状物基材,其耦合至该网状物卷滚机构; 复数个感应器,其构成为动态地侦测该挠性网状物 基材中的变形; 至少一可控制式机械组件,其耦合至该挠性网状物 基材;及 一电脑系统,其耦合至该等复数个感应器及该至少 一可控制式机械组件其中该电脑系统包括具有下 列作用之逻辑: 用于侦测该挠性网状物基材中的变形;及 用于以该侦测得的变形为基础来动态地对准该挠 性网状物基材。 8.如申请专利范围第7项之系统,其中该用于侦测该 挠性网状物基材中的变形之逻辑系包括具有下列 作用之逻辑: 用于利用该挠性网状物基材上的光学标记来侦测 该变形; 用于比较该侦测得的变形与一所需要的变形; 用于以该比较为基础产生一误差讯号;及 用于产生一用来动态地对准该挠性网状物基材之 校正讯号。 9.如申请专利范围第7项之系统,其中该用于动态地 对准该挠性网状物基材之逻辑系包括具有下列作 用之逻辑: 用于利用至少一可控制式机械组件以该侦测得的 变形为基础来对准该挠性网状物。 10.如申请专利范围第9项之系统,其中该至少一可 控制式机械组件包括球形轧缝。 图式简单说明: 第1A图为根据本发明的一实施例之一方法的高阶 流程图; 第1B图为根据本发明的一实施例之用来侦测一挠 性网状物基材上的变形之步骤的较详细流程图; 第2A图为根据本发明的一实施例之一系统的图示; 第2B图显示根据本发明的一实施例之用于决定所 需要的变形校正之一可能的实施例; 第3图为可与本发明的一实施例一同使用之一电脑 系统的方块图; 第4图为根据本发明的一实施例之一方法的较详细 流程图; 第5图为可与本发明的一实施例一同使用之一可转 向碟(steerable disk)组态的图示; 第6图为可与本发明的一实施例一同使用之一球形 轧缝组态的图示; 第7图为可与本发明的一实施例一同使用之一机械 横向滚子的图示。
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