| 主权项 |
1.一种含有发射体之装置的制造方法,包含: 将多数束结在一起的纤维段之一端曝露于一反应 液体,以使该反应液体与该等纤维段的端部反应而 形成一集束尖梢的阵列; 沈积一导电材料于该尖梢阵列上; 沈积一介电层于该覆层的尖梢阵列上; 在该介电层上形成一闸极电极;及 除去部份的介电层而由该覆层尖梢阵列上曝现该 等覆层尖梢的至少一部份。 2.如申请专利范围第1项之方法,其中该反应液体包 含一氢氟酸的浸渍液。 3.如申请专利范围第1项之方法,其中该反应液体包 含一氢氟酸的喷雾洒液。 4.如申请专利范围第1项之方法,其中该等集束纤维 段包含一纤维段片。 5.如申请专利范围第1项之方法,其中该导电材料包 含一选自下列组群的低功函数导体:Mo、Ni、Cr、Cu 、Au、Pt、Ir、Pd、Ti、Al、W、-C及其组合物。 6.如申请专利范围第1项之方法,其中该等尖梢皆具 有小于1m的尖梢半径。 7.如申请专利范围第1项之方法,更包含: 提供一透明基板并有一透明导电材料沈积其上; 在该透明基板上制成一介电间隔物; 蚀刻该介电间隔物的选择区域来形成供容纳彩色 萤光质的腔室等;及 对准该等选择区域和曝现的覆层尖梢而形成一尖 梢胞穴阵列结构。 8.如申请专利范围第7项之方法,其中该透明导电材 料包含一图案化的透明导电材料。 9.如申请专利范围第7项之方法,更包含: 在将该尖梢胞穴结构泵成真空之后,密封该尖梢胞 穴阵列结构。 10.一种场发射装置,包含: 一阴极板系如下来制成: 将多数束结在一起的纤维段之一端曝露于一反应 液体,以使该反应液体与该等纤维段的端部反应而 形成一集束尖梢的阵列; 沈积一导电材料于该尖梢阵列上; 沈积一介电层于该覆层的尖梢阵列上; 在该介电层上形成一闸极电极;及 除去部份的介电层而由该覆层尖梢阵列上曝现该 等覆层尖梢的至少一部份;及 一阳极板系如下来制成: 提供一透明基板并有一透明导电材料沈积其上; 在该透明基板上制成一介电间隔物; 蚀刻该介电间隔物的选择区域来形成供容纳彩色 萤光质的腔室等; 该阳极板和阴极板会被并设在一起,而使被蚀刻的 选择区域对准曝现的覆层尖梢来形成一尖梢胞穴 阵列结构。 11.如申请专利范围第10项之场发射装置,其中该尖 梢胞穴阵列结构包含一密封物可容该结构被泵成 真空。 12.如申请专利范围第10项之场发射装置,其中该反 应液体包含一氢氟酸的浸渍液。 13.如申请专利范围第10项之场发射装置,其中该反 应液体包含一氢氟酸的喷雾洒液。 14.如申请专利范围第10项之场发射装置,其中该等 集束纤维段包含一纤维段片。 15.如申请专利范围第10项之场发射装置,其中该导 电材料包含一选自下列组群的低功函数导体:Mo、 Ni、Cr、Cu、Au、Pt、Ir、Pd、Ti、Al、W、-C及其组 合物。 16.如申请专利范围第10项之场发射装置,其中该等 尖梢皆具有小于1m的尖梢半径。 17.如申请专利范围第10项之场发射装置,其中该透 明导电材料包含一图案化的透明导电材料。 18.一种含有发射体之装置的制造方法,包含: 提供一纤维段片,各纤维段具有一第一端; 将该等纤维段的第一端曝露于一反应液体,以使该 反应液体与该等第一端反应而在各第一端形成一 尖梢; 沈积一导电材料于该等尖梢上; 沈积一介电层于该等覆层尖梢上; 在该介电质上形成一闸极电极;及 除去部份的介电层来曝现该等覆层尖梢的至少一 部份; 提供一阳极板含有腔室等可容装彩色萤光质;及 将该等腔室对准曝现的覆层尖梢来形成各发射体 胞穴。 19.如申请专利范围第18项之方法,其中该反应液体 包含一氢氟酸的浸渍液。 20.如申请专利范围第18项之方法,其中该反应液体 包含一氢氟酸的喷雾洒液。 21.如申请专利范围第18项之方法,其中该导电材料 包含一选自下列组群的低功函数导体:Mo、Ni、Cr、 Cu、Au、Pt、Ir、Pd、Ti、Al、W、-C及其组合物。 22.如申请专利范围第18项之方法,其中该等尖梢皆 具有小于1m的尖梢半径。 图式简单说明: 第1图为一习知的场发射装置之简化示图; 第2图为本发明一实施例之发射体阵列的制造流程 图; 第3图为本发明一实施例之简体段片的简化示图; 第4A图为本发明一实施例之蚀刻槽的简化示图; 第4B图为本发明一实施例之发射体阵列的简化示 图; 第5图为本发明一实施例之个别纤维短段在接受蚀 刻处理之前及之后的简化示图; 第6A与6B图分别本发明一实施例之覆层发射体及一 覆层发射体阵列的简化示图; 第7A~7D图为本发明一实施例之阴极板制法的简化 示图; 第8图为本发明一实施例之阳极板以微影图案化来 制成而具有腔穴可容纳RGB彩色萤光质的简化示图; 第9图为本发明一实施例之场发射装置的简化示图 ;及 第10图为本发明一实施例之使用第9图所示FED的系 统之示意图。 |
