发明名称 可降低翻转磁场之磁性随机存取记忆体
摘要 一种可降低翻转磁场之磁性随机存取记忆体,包括有一第一反铁磁层、形成于第一反铁磁层之上之固定层、形成于固定层之上之穿隧能障绝缘层、形成于穿隧能障绝缘层之上之铁磁自由层、以及形成于铁磁自由层之上之多层结构金属层。其中多层结构金属层系由一层以上之金属层堆叠制成,而多层结构金属层中铁磁层和反铁磁层之磁化易轴方向与铁磁自由层之磁化易轴方向配置成正交关系。本发明所揭露之可降低翻转磁场之磁性随机存取记忆体具有降低铁磁自由层的翻转磁场之优点,进而降低写入资料时所需之电流。
申请公布号 TWI283477 申请公布日期 2007.07.01
申请号 TW093135086 申请日期 2004.11.16
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 李元仁;陈永祥;陈威全;高明哲;王连昌
分类号 H01L27/00(2006.01) 主分类号 H01L27/00(2006.01)
代理机构 代理人
主权项 1.一种可降低翻转磁场之磁性随机存取记忆体,包 括有: 一第一反铁磁层; 一固定层,形成于该第一反铁磁层之上; 一穿隧能障绝缘层,形成于该固定层之上; 一铁磁自由层,形成于该穿隧能障绝缘层之上;以 及 一多层结构金属层,形成于该铁磁自由层之上。 2.如申请专利范围第1项所述之可降低翻转磁场之 磁性随机存取记忆体,其中该多层结构金属层中至 少包括有一铁磁层和一反铁磁层,该铁磁层之磁化 易轴方向与该铁磁自由层之磁化易轴方向配置成 正交关系。 3.如申请专利范围第1项所述之可降低翻转磁场之 磁性随机存取记忆体,其中该多层结构金属层系由 一层以上之金属层堆叠制成。 4.如申请专利范围第2项所述之可降低翻转磁场之 磁性随机存取记忆体,其中该多层结构金属层包括 有: 一非磁性金属层; 一铁磁层,形成于该非铁磁金属之上;以及 一第二反铁磁层,形成于该铁磁层之上。 5.如申请专利范围第4项所述之可降低翻转磁场之 磁性随机存取记忆体,其中该铁磁层与该第二反铁 磁层之磁化易轴方向与该铁磁自由层之磁化易轴 方向配置成正交关系。 6.如申请专利范围第4项所述之可降低翻转磁场之 磁性随机存取记忆体,其中该非磁性金属层系选用 非磁性传导材料。 7.如申请专利范围第4项所述之可降低翻转磁场之 磁性随机存取记忆体,其中该铁磁层系选用铁磁性 材料。 8.如申请专利范围第4项所述之可降低翻转磁场之 磁性随机存取记忆体,其中该第二反铁磁层系选用 反铁磁性材料。 图式简单说明: 第1图系为本发明所揭露之磁性随机存取记忆体; 第2图系为本发明所揭露之磁性随机存取记忆体之 磁化易轴方向示意图; 第3图系为本发明所揭露之磁性随机存取记忆体之 磁滞曲线变化示意图; 第4图系为本发明所揭露之磁性随机存取记忆体之 磁滞曲线变化之实验结果; 第5图系为本发明所揭露之磁性随机存取记忆体之 铁磁自由层上没有覆盖多层结构金属层之模拟磁 滞曲线结果;以及 第6图系为本发明所揭露之磁性随机存取记忆体于 铁磁自由层上有覆盖多层结构金属层后之模拟磁 滞曲线之结果。
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号