用于沈积薄膜的加热器

摘要

提供一种藉由加热在一被承置的晶圆上沉积一薄膜的加热器。该用于沉积一薄膜的加热器包含：一晶圆支撑平板，在其上承置有一晶圆并且于该晶圆支撑平板的边缘处设置有复数个注入孔，且其中包含一热产生部件；一轴杆，其被设置在该晶圆支撑平板的下方侧处，其包括一惰性气体通路，经由该惰性气体通路可提供惰性气体；以及一流动通道形成遮盖，其被附接至该晶圆支撑平板的下方部处，并且包括一被形成于该流动通道形成遮盖与该晶圆支撑平板之间的内部空间，其中，该等注入孔与该惰性气体通路被透过该内部空间相连接。