避开晶圆表面异常之晶圆自动测试系统及方法

摘要

避开晶圆表面异常之晶圆自动测试系统。晶圆表面检测装置检测一晶圆之表面，并记录上述晶圆之表面异常区域之位置资讯。测试机从上述晶圆表面检测装置下载上述晶圆之表面异常区域之上述位置资讯，并根据上述位置资讯以决定并产生上述晶圆之晶粒测试路线。探测机在上述晶圆表面检测装置检测后取得上述晶圆，并包含一探测卡用以根据上述晶粒测试路线接触上述晶圆上之部分晶粒以进测试。