干涉条纹自动对焦与自动侦测方法

摘要

一种干涉条纹自动对焦与自动侦测方法，适用于一光学干涉系统，包括：撷取多个干涉影像。每一该干涉影像是由多个像素所构成，每一该些像素有对应的一像素强度。记录每一该些干涉影像的一位置，一清晰度、与一对比度。该清晰度与该对比度是根据一清晰度计算与一对比度计算获得。分析该些干涉影像的该些清晰度，获得与该些干涉影像位置相对应的一清晰度分布曲线，以得出一最佳清晰度位置，做为该光学干涉系统的一聚焦位置。分析该些干涉影像的该些对比度，获得一对比度分布曲线。决定一干涉扫瞄范围，其中该对比度分布曲线被独立分析，或是该对比度分布曲线与该清晰度分布曲线被混合分析，以决定该干涉扫瞄范围。