| 摘要 |
一种即时晶圆位置侦测修正系统，包括一具有活动门之传送室，可允许晶圆由外界传送进入；至少一反应室邻接于传送室，各反应室具有开口及一密封门，各开口允许晶圆进入反应室，密封门分别用于关闭开口；一晶圆传送臂设置于传送室内，晶圆传送臂用于将晶圆传送进入反应室中，其中晶圆传送臂具有一托盘，用于承载晶圆；一光发射器设置于托盘之前端，用于发出具有一既定波长之一光束；一光感测器设置于托盘之前端，其中当晶圆传送臂沿径向延伸，且托盘由晶圆之下方通过时，光感测器接收光发射器射出，且经晶圆背面反射的光束，并送出一晶圆位置讯号；一控制模组与光感测器电性连接，可透过光感测器所测得之晶圆位置讯号，判断晶圆是否位于正常位置。 |
