| 发明名称 |
奈米碳管线路元件结构及其制程 |
| 摘要 |
本发明提供一种奈米碳管线路元件结构，包括一半导体基底；一细连线结构，位在该半导体基底上，该细连线结构具有至少一接垫；一保护层，位在该细连线结构上，该接垫暴露在该保护层之一开口内；至少一奈米碳管层，位在该细连线结构及该保护层上，该奈米碳管层电连接该接垫。利用导电性奈米碳管作为半导体元件线路之材质，利用奈米碳管导电特性、可挠曲及高强度，使半导体元件的线路更细、更密集。 |
| 申请公布号 |
TW200725690 |
申请公布日期 |
2007.07.01 |
| 申请号 |
TW095143682 |
申请日期 |
2006.11.27 |
| 申请人 |
米辑电子股份有限公司 |
发明人 |
林茂雄;周健康;罗心荣;杨秉荣 |
| 分类号 |
H01L21/02(2006.01);H01L21/027(2006.01);B82B3/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/02(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
新竹市新竹科学工业园区园区二路47号301/302室 |
