半穿半反液晶显示器制程

摘要

一种半穿半反液晶显示器制程，该半穿半反液晶显示器包括一基板，该基板包括一反射区与一穿透区，该制程包括：于基板表面依次形成一透明电极层、一缓冲层、一反射金属层及一光阻层；提供一光罩，该光罩包括二透光率不同之区域，透光较大之区域对应穿透区，透光率较小之区域对应反射区；曝光光阻层并显影，使得光阻层于反射区内之厚度大于光阻层于穿透区内之厚度；灰化光阻层，以去除穿透区之光阻，反射区则剩余部份光阻；蚀刻穿透区之缓冲层与反射金属层，暴露出穿透区之透明电极层；去除反射区之剩余光阻，暴露出反射区之反射金属层。