反应室清洗制程之终点测定系统及方法

摘要

本发明系关于一种测定其中清洗流体与一结构接触以达成其清洗之清洗制程之终点的装置及方法。此清洗制程包括使一清洗流体与一待清洗结构接触且产生一具有对应于此结构之清洗程度之显热热能特征的清洗排出物，将一物体设置于清洗排出物中，其与清洗排出物交互作用，而产生指示清洗排出物之显热热能特征的响应，且监测此响应，以测定此清洗何时完成。亦说明一种终点测定演算法及终点监测，以及适用于以有效率且具再现性之方式测定终点条件的终点监测感测器元件。