| 摘要 |
[课题]本发明系在产生因偏航角(yaw angle)所致的倾斜之情形下，修正复数个头与工件的复数个加工点的偏移为其课题。[解决手段]头作动控制装置31系具有修正量演算部441~445、判定部461~465。修正量演算部441系依据利用Y1、Y2雷射干涉仪36、37所计测的距离L1、L2之差(L1-L2)，来演算对应于偏航角的修正量△T。以判定部461~465系判定已修正的距离L1±△T之值是否与加工位置资料一致，一致的情形下，输出头301~305的加工讯号。藉此，头301~305系对应于偏航角θ而随着时间挪动加工定时，以载置在可动盘20上的基板上之加工点，与头301~305之加工点一致的定时来进行加工。 |
