机械手臂及使用其之工件搬运机器人

摘要

本发明提供一种机械手臂及使用其之工件搬运机器人，于搬运在高温环境下所处理之玻璃基板等工件时，可使手臂高效均匀地冷却，并且与先前相比，具有较轻构造。该机械手臂具备：载置部(11)，其形成具有与外部隔绝之中空部(11a)之形状，并载置工件；介质导入管(15)，其将冷却介质导入至载置部(11)一端侧之中空部(11a)；以及介质排出口(17)，其将冷却介质从载置部(11)他端侧之中空部(11a)排出。