密接型曝光装置

摘要

本发明提供一种光罩与基板的密接性高之密接型曝光装置。于基板2的外侧周围装设框体3，藉由吸附口56吸附固定。藉由框体3来提升光罩与基板的密接性。又，由于框体3系形成为一体，故藉由吸附可确实予以固定，且能轻易地施行安装拆卸，更准备了自动化。于框体3的背面形成流通沟渠30，施行在框体30与基板2之间所产生的间隙35之吸引，确实施行光罩1与基板2的密接。