混产品混层别下化学机械研磨之研磨速率预估方法

摘要

本发明系一种混产品混层别下化学机械研磨制程之研磨速率预估方法，该研磨速率预估至少包括：提供一特定产品或层别之垫片研磨速率；并且提供一研磨速率修正项；以及将该特定产品或层别之垫片研磨速率与该研磨速率修正项加总之合作为该混产品混层别下化学机械研磨制程之研磨速率预估值。其中，当更换新垫片时，该研磨速率修正项之值设为零。