发明名称 溅镀靶、透明导电膜及触控面板用透明电极
摘要 本发明系提供一种以铟、锡、锌为主成份,In/(In+Sn+Zn)所示之原子比为0.10~0.35、Sn/(In+Sn+Zn)所示之原子比为0.15~0.35、Zn/(In+Sn+Zn)所示之原子比为0.50~0.70、含有In2O3(ZnO)m(m为3~9之整数)所示之六方晶层状化合物及Zn2SnO4所示之尖晶石构造化合物之氧化物烧结体之溅镀靶。
申请公布号 TW200724702 申请公布日期 2007.07.01
申请号 TW095135833 申请日期 2006.09.27
申请人 出光兴产股份有限公司 发明人 矢野公规;井上一吉;田中信夫;岛根幸朗
分类号 C23C14/34(2006.01);C23C14/08(2006.01);G02F1/1343(2006.01) 主分类号 C23C14/34(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本
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