半导体结构、电熔线与其形成方法

摘要

本发明提供一种电熔线及其形成方法，该电熔线包括一介电层在一浅沟槽隔绝区上，以及一接触栓塞由该介电层表面延伸至该浅沟槽隔绝区，其中该接触栓塞包括一中间区，该中间区实质上比两个末端区狭窄。该接触栓塞形成一熔线元件，该电熔线更包括两个金属线在该介电层之上，其中两个金属线分别连接至该接触栓塞不同的末端区。