| 发明名称 |
用于施加介电质作业中之钙钛矿物质(perovskite)与其他复合陶瓷膜的沈积法 |
| 摘要 |
根据本发明，提出藉由脉冲直流物理气相沈积法或藉由RF溅镀法沈积钙钛矿物质，例如钛酸钡锶(BST)膜。此种沈积法可提供高沈积速率以沈积钙钛矿物质层。该沈积法的某些具体实例提出对于高速率沈积钙钛矿物质膜之需求，该钙钛矿物质膜可作为电容器、其他能量储存装置与微电子应用中之介电层。本发明方法之具体实例可消除以往结晶该BST层所需要之高温(>700℃)退火步骤。 |
| 申请公布号 |
TW200724700 |
申请公布日期 |
2007.07.01 |
| 申请号 |
TW095131196 |
申请日期 |
2006.08.24 |
| 申请人 |
西摩费克斯有限公司 |
发明人 |
张红梅;理查 戴马瑞 |
| 分类号 |
C23C14/34(2006.01);C23C14/54(2006.01);H01G4/005(2006.01);H01G13/00(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/34(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
