抛光浆料及其抛光方法

摘要

本发明揭露一种抛光浆料，其包含一研磨颗粒、一氧化剂以及一载体，其中该氧化剂系结合于一金属有机大分子上。同时，本发明亦揭露抛光浆料的用途和使用方法。本发明之抛光浆料于抛光衬底时，可以保持高的研磨速率，抛光后的衬底表面无腐蚀、缺陷率低、平整度高。