| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauelement mit einem Substrat (1), mit einer darauf angeordneten ersten Zwischenschicht (2) und mit einer darauf angeordneten ersten Schicht (3), welche bis zur ersten Zwischenschicht (2) durchstrukturiert ist. Über der ersten Schicht (3) ist eine zweite Zwischenschicht (6) angeordnet. Darauf ist eine zweite Schicht angeordnet (9), wobei in die zweite Schicht (9) wenigstens eine bewegliche mikromechanische Struktur (14) hineinstrukturiert ist, wobei die zweite Zwischenschicht (6) in einem Opferbereich unter der beweglichen mikromechanischen Struktur (14) entfernt ist und die erste Zwischenschicht (2) teilweise in Bereichen unter der ersten Schicht (3) entfernt ist. Der Kern der Erfindung besteht darin, dass die bewegliche mikromechanische Struktur (14) an einer Unterseite wenigstens eine Anschlagfläche aufweist, wobei die Anschlagfläche durch eine Auslenkung der beweglichen mikromechanischen Struktur (14) an einen Bereich der ersten Schicht (3) anlegbar ist, welcher durch die erste Zwischenschicht (2) gestützt ist. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Herstellungsverfahren für ein solches mikromechanisches Bauelement. |
