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发明名称
Photoelektrischer Multi-Achsen-Sensor mit Interferenzlichtdetektion
摘要
申请公布号
DE60212785(T2)
申请公布日期
2007.06.28
申请号
DE20026012785T
申请日期
2002.10.25
申请人
SUNX LTD.
发明人
WAKE, TORU;HAYAKAWA, DAISUKE
分类号
G01V8/20
主分类号
G01V8/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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