发明名称 Photoelektrischer Multi-Achsen-Sensor mit Interferenzlichtdetektion
摘要
申请公布号 DE60212785(T2) 申请公布日期 2007.06.28
申请号 DE20026012785T 申请日期 2002.10.25
申请人 SUNX LTD. 发明人 WAKE, TORU;HAYAKAWA, DAISUKE
分类号 G01V8/20 主分类号 G01V8/20
代理机构 代理人
主权项
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