Verfahren zur Herstellung von mikromechanischen und mikrooptomechanischen Strukturen mit einem aufgebrachten Muster,申请号DE20016028440-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Herstellung von mikromechanischen und mikrooptomechanischen Strukturen mit einem aufgebrachten Muster
摘要
申请公布号	DE60128440(D1)	申请公布日期	2007.06.28
申请号	DE20016028440	申请日期	2001.11.27
申请人	MICROSCAN SYSTEMS INC.;XEROX CORP.	发明人	SCHARF, BRUCE R.;GULVIN, PETER M.;CHEN, JINGKUANG;KUBBY, JOEL A.;LIN, CHUANG-CHIA;TRAN, ALEX T.
分类号	B81B3/00;B81C1/00;H01L21/762;H01L27/14	主分类号	B81B3/00
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