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发明名称 MANUFACTURING SYSTEM OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100733590(B1) 申请公布日期 2007.06.28
申请号 KR20040071858 申请日期 2004.09.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/00 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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