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经营范围
发明名称
APPARAT UND METHODE, SUBSTRATE ZU KÜHLEN
摘要
申请公布号
DE69934022(T2)
申请公布日期
2007.06.28
申请号
DE19996034022T
申请日期
1999.08.26
申请人
ASM AMERICA INC.
发明人
RAAIJMAKERS, IVO
分类号
C23C16/44;H01L21/00;C23C16/54;C23C16/56;C30B25/10;C30B31/12;H01L21/205
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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