发明名称 APPARAT UND METHODE, SUBSTRATE ZU KÜHLEN
摘要
申请公布号 DE69934022(T2) 申请公布日期 2007.06.28
申请号 DE19996034022T 申请日期 1999.08.26
申请人 ASM AMERICA INC. 发明人 RAAIJMAKERS, IVO
分类号 C23C16/44;H01L21/00;C23C16/54;C23C16/56;C30B25/10;C30B31/12;H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
地址