| 发明名称 |
Verfahren zum gleichzeitigen Erzeugen einer Vielzahl von gleichen Halbleiterbauelementen mit pn-UEbergang aus einer einzigen Halbleiterscheibe |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2041035(A1) |
申请公布日期 |
1972.02.24 |
| 申请号 |
DE19702041035 |
申请日期 |
1970.08.18 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
SPAETH,WERNER,DIPL.-PHYS. |
| 分类号 |
G01R31/26;H01L21/288;H01L21/3063;H01L21/316;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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