Dreidimensionale Messvorrichtung und zugehöriges Verfahren

摘要

Es wird eine dreidimensionale (3-D) Bildmessvorrichtung und ein Verfahren bereitgestellt, die ein Licht zu einer Oberfläche und einer anderen Oberfläche eines Messobjekts unter Verwendung einer Vielzahl von Leuchten und Filtern strahlen und somit einen Schattenbereich, der auftreten kann, wenn ein 3-D-Bild gemessen wird, entfernen können. Die 3-D-Messvorrichtung umfasst einen XY-Tisch, einen Projektionsteil, der eine erste Leuchte und eine zweite Leuchte, die ein Licht erzeugen, eine Vielzahl von Projektionslinsen, die auf einer Oberfläche der ersten Leuchte beziehungsweise der zweiten Leuchte installiert sind, eine Gitterplatte, die zwischen den ersten und zweiten Leuchten und der Vielzahl der Projektionslinsen vorgesehen und mit einer Vielzahl von Gittern ausgebildet ist, und ein Projektionsteilbewegungsinstrument, das die Gitterplatte in eine vertikale Richtung zu einer Ausstrahlungsrichtung des von den ersten und zweiten Leuchten erzeugten Lichts bewegt, umfasst; einen Lichtpfadkonverter, der eine Vielzahl von Spiegeln, die auf einer Oberfläche des Projektionsteils vorgesehen und in vorbestimmten Intervallen voneinander beabstandet sind, ein erstes Filter und ein zweites Filter, die jeweils in einem unteren Teil der vielen Spiegel vorgesehen sind und die optischen Eigenschaften eines Lichts, das durch die Vielzahl der Spiegel hindurchgelaufen ist, einstellen und filtern, und eine dritte Leuchte, die zwischen dem ersten Filter und dem zweiten Filter angeordnet ist, ...