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发明名称 Photoelektrischer Positionsgeber und Verfahren zur Herstellung von Gittern
摘要
申请公布号 DE602005000684(T2) 申请公布日期 2007.06.28
申请号 DE200560000684T 申请日期 2005.01.26
申请人 MITUTOYO CORP. 发明人 KANNO, TAKASHI;TOMINAGA, ATSUSHI;KOJIMA, KENICHI
分类号 G02B5/18;G01D5/347;G01D5/38 主分类号 G02B5/18
代理机构 代理人
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