发明名称 | 硬盘基板用研磨液组合物 | ||
摘要 | 本发明提供了硬盘基板用研磨液组合物以及使用了该研磨液组合物的硬盘基板的制造方法,该研磨液组合物优选含有氧化铝粒子和水,其中氧化铝粒子的二次粒子的体积中值粒径为0.1-0.7μm,氧化铝粒子中的粒径为1μm以上的粒子的含量为0.2重量%以下。通过使用本发明的研磨液组合物和基板的制造方法,例如可以以高的生产效率提供适合高记录密度化的硬盘基板。 | ||
申请公布号 | CN1986717A | 申请公布日期 | 2007.06.27 |
申请号 | CN200610163754.4 | 申请日期 | 2006.12.04 |
申请人 | 花王株式会社 | 发明人 | 藤井滋夫;末永宪一 |
分类号 | C09K3/14(2006.01) | 主分类号 | C09K3/14(2006.01) |
代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 陈建全 |
主权项 | 1、硬盘基板用研磨液组合物,其含有氧化铝粒子和水,其中氧化铝粒子的二次粒子的体积中值粒径为0.1-0.7μm,氧化铝粒子中的粒径为1μm以上的粒子的含量为0.2重量%以下。 | ||
地址 | 日本东京 |