用于检测电弧的方法和设备

摘要

本发明设计用于在等离子工艺中检测电弧的一种方法和电弧检测装置(1)，包括至少一个比较器(ADC)，为所述比较器提供AC发生器的输出信号或者与所述输出信号有关的内部信号作为评估信号，还为所述比较器提供参考值(R1到R4)，其中，比较器(3到6)连接到逻辑器件(16)，所述逻辑器件(16)生成用于电弧抑制设备(23)的信号。

主权项

1、在由AC发生器供给的等离子工艺中的电弧检测方法，其中所述AC发生器的输出信号用于供电，所述方法包括以下方法步骤：a.确定时刻(t1到t5)，在该时刻，作为评估信号的所述输出信号或者与所述输出信号有关的信号在所述评估信号的正半波(30)中超过了参考值(R1到R4)，或者在所述评估信号的负半波中下降到低于所述参考值，和/或者b.确定随后的时刻(t6到t10)，在该时刻，所述评估信号在所述评估信号的正半波(30)中的相同半波(30)中下降到低于所述参考值(R1到R4)，或者在所述评估信号的负半波中超过所述参考值，c.使用所述时刻(t1到t10)中的至少一个，确定至少一个时间间隔(I1到I5)，d.对所述评估信号的后面的半波(31)重复方法步骤a)-c)，e.将相互对应的时间间隔(I1到I5)进行比较，f.当所述相互对应的时间间隔(I1到I5)彼此之间的差值超过可预定公差(T)时，生成电弧检测信号。